芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破！離子注入機實現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化

中國電子科技集團有限公司17日對外公布，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術(shù)，已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，包括中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為中國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補上重要一環(huán)，為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。（記者溫競?cè)A，海報設(shè)計：賈伊寧）